支持多個標(biāo)記物同時檢測，單組分檢測時間小于0.5S。
●真空適應(yīng)性強
適用于真空度10Pa到常壓應(yīng)用場合下ppb級殘余氣體分析。
●設(shè)計緊湊
采用模塊化設(shè)計、結(jié)構(gòu)簡單、尺寸小巧，可以方便嵌入生產(chǎn)工藝中。
●自動校準(zhǔn)
具備自動校準(zhǔn)功能，消除傳感器運行漂移，確保長期數(shù)據(jù)穩(wěn)定性。
●智能診斷
功能強大的殘余氣體專用分析軟件，具備自動標(biāo)定、數(shù)據(jù)處理、儀器調(diào)諧和方法開發(fā)等多種功能，并集成診斷工具，隨時監(jiān)控儀器及工藝參數(shù)狀態(tài)。
